スキャン型の電子線照射装置ではスポット状の電子ビームが電磁場により左右に走査されます。そのため電子線の進行方向は照射窓箔中心部付近では真下に、両端部付近では斜めになります。そして素材にその進行方向を保ったまま電子線が照射されることになります。この斜め方向の照射が素材にどのような影響を与えるのかを説明します。